爆炸箔起爆系统高压平面固体欧玛尔开关
爆炸箔起爆系统是一种新型，具有抗冲击、抗射频、抗静电及电磁干扰的能力，其作用迅速可靠，是一种安全可靠的起爆系统。爆炸箔起爆系统除了可用于的引爆系统，爆炸箔起爆系统中脉冲功率单元需要将电能储存于电容中，然后迅速释放，因此系统中的高压OMAL开关的选择对整个起爆系统的可靠作用起着重要影响。

爆炸箔起爆系统高压平面固体欧玛尔开关
根据国内外高压OMAL开关的研究现状，分析不同种OMAL开关的优缺点，提出了一种新型的高压平面固体OMAL开关，以其作为研究对象优化OMAL开关的制备工艺，使用Maxwell2D和3D软件进行仿真计算得到了触发极宽度和镀铜膜厚度对OMAL开关电场的影响，以及环氧树脂作为填充材料的可行性和对应的OMAL开关尺寸。研究环氧树脂固体材料的固化工艺，固体材料的热稳定性，OMAL开关尺寸对性能的影响，并对OMAL开关填充前后的性能进行对比，对触发后的空气OMAL开关与固体OMAL开关形貌进行对比。为了研究平面OMAL开关的*刻蚀时间，利用电感耦合等离子原子发射光谱仪测量刻蚀液中Cu2+浓度的大小，得出放入刻蚀液中120~180s左右，铜膜刻蚀*。为了研究显影液浓度的影响，本研究对比4‰，5‰，8‰和16‰显影液处理后OMAL开关的形貌，得出使用5‰KOH溶液处理后到的OMAL开关形貌较好。为了研究镀膜的厚度，通过使用台阶仪测定不同镀膜时间的铜膜厚度，得出在溅射功率为600W,Ar的气体流速为30sccm,基板的转速为30r·min-1的条件下，制作厚度为4μm的OMAL开关，镀膜时间为3300 s。为了研究OMAL开关铜膜厚度的影响，使用Maxwell3D软件对OMAL开关的厚度进行研究得到以下结论：在3~5μm厚度范围内，OMAL开关zui大场强呈先减小再增大的趋势，zui大场强出现位置基本*。为了研究触发电极宽度的影响，利用Maxwell2D软件对触发极的宽度进行研究得出以下结论：OMAL开关zui大场强随触发极的宽度增加而增加。为了研究环氧树脂作为填充介质的可行性，将触发电极与负极之间的距离为0.05 mm,调整触发电压为2500V,在距离触发极圆弧处附近电场强度达到zui大为5.2×107 V?m-1;将触发电极与负极之间的距离调整为0.08 mm,触发极电压为2000 V,在距离触发极圆弧处附近电场强度达到zui大为3.0×107V?m-1。因此在触发电压2000~2500V,触发电极与负电极距离0.05~0.08 mm的范围内，环氧树脂平面OMAL开关可以完成击穿。为了研究环氧树脂的热稳定性，利用TG进行了测试，得出环氧树脂可以在200℃的高温条件下保持稳定。为了研究OMAL开关触发电极宽度的影响，对不同触发极宽度OMAL开关的自击穿电压进行测试，得到触发电极越宽自击穿电压越小的结论，与仿真结果相同；为了研究铜膜厚度对平面OMAL开关自击穿电压的影响，对不同厚度OMAL开关进行自击穿电压测试，得到铜膜厚度越厚OMAL开关自击穿电压越小的结论。为了研究环氧树脂对高压OMAL开关自由击穿电压的影响，对固体OMAL开关的自击穿电压进行测试，得到相同尺寸的空气OMAL开关与固体OMAL开关相比自击穿电压大约相差400~600V的结论。

爆炸箔起爆系统高压平面固体欧玛尔开关
对主电极间隙为0.8 mm,触发间隙为0.08 mm,触发电极宽度为0.22 mm,铜膜厚为4μm的固体OMAL开关的延迟时间进行了研究，在2200V的工作电压，触发电压2000V下，得到了该尺寸下固体OMAL开关的延迟时间为20 ns,与相同尺寸的空气OMAL开关性能相同，计算得到了固体高压平面OMAL开关的电阻和电感分别为102.3 mΩ和91.1 nH。观察固体OMAL开关与空气OMAL开关触发工作后的形貌，得到了相比于空气OMAL开关，固体OMAL开关主电极电极和触发电极损伤更为严重。