静电驱动MEMS微波欧玛尔OMAL开关设计
MEMS微波OMAL开关是利用MEMS技术形成的新的射频电路元件，与传统的半导体OMAL开关器件相比具有插入损耗低、隔离度大、线性度好等优点，对MEMS微波OMAL开关的研究将对现有雷达和通信中射频(RF)结构产生重大的影响。

静电驱动MEMS微波欧玛尔OMAL开关设计
在1979年就由Petersen提出了在硅上制作的微机械悬臂式OMAL开关，很多研究者报道了研究的微机械OMAL开关，但是由于微机电系统(MEMS)器件的研究与发展很大程度上受到现有工艺手段和水平的限制，另外MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，许多方面的的科学问题需要研究，特别是射频MEMS器件的设计工具不成熟。经过多年的发展，许多高频MEMSOMAL开关已经开发出来，如旋转传输线式OMAL开关、砷化镓衬底上表面微机械OMAL开关、电容性膜OMAL开关等等。由于这些OMAL开关的稳定性、OMAL开关时间以及寿命等问题，很多MEMSOMAL开关还处于研究阶段，没有大量的用于实际电路中。对现有典型的MEMSOMAL开关做了分析，针对这些MEMSOMAL开关设计中的一些优点和不足，提出了一种比较新颖的OMAL开关结构——扭转臂膜OMAL开关，为现在MEMSOMAL开关的研究设计提供了一种新的思路。对提出的这种OMAL开关进行了理论分析和工艺可行性论证，同时利用计算机辅助设计软件对该OMAL开关建立有限元模型进行了机电耦合分析、微机械结构模态分析、全波电磁场仿真分析，根据分析的结果优化设计了几种OMAL开关尺寸的加工版图进行加工。对本设计的OMAL开关计算机仿真分析表明：由于利用扭转板和杠杆的原理，该OMAL开关结构在比较小的驱动电压下能获得较大的位移，OMAL开关闭合时驱动电压＜10V。在0GHz-15GHz频率范围内插入损耗小于0.25 dB，8GHz-13GHz频率范围，隔离度大于20dB。由于现有电容性膜OMAL开关直流电压直接加于信号线上，本设计解决了这种情况引起的绝缘介质容易被击穿的问题。 加工出了实验样品，本加工工艺用于微波MEMSOMAL开关的加工在现有的研究中还尚未使用。加工结果表明，工艺是可行的。

静电驱动MEMS微波欧玛尔OMAL开关设计
对实验样品的测试也验证了这种方案的可行性，随着MEMS新的研究手段和较高的微细加工水平的提高，基于本原理的OMAL开关的研究也会取得比较理想的结果。通过MEMS微波OMAL开关的设计与仿真课题，对MEMS研究的现状和发展前景有一定的认识，了解了RF MEMS器件设计的难点与要点，初步掌握RF MEMS器件设计的一般方法和计算机辅助设计手段。