康茂胜CAMOZZI微角度执行器
　　微位移驱动技术是当今世界各国研究的热点问题，是纳米测量及加工技术中的关键技术之一，随着科学技术的发展，需要高精度、高分辨力、能够灵活控制的微位移驱动及检测系统，用以直接进行有关工作或配合其它仪器设备完成高精度的研究和应用，正是这些需要，极大地促进了微位移驱动定位技术的发展。角位移驱动定位技术的需求也越来越广泛，在许多领域迫切需要大行程高分辨力的角位移驱动定位系统，以实现高精度的定位。

　　康茂胜CAMOZZI微角度执行器
　　对角位移驱动定位及检测技术进行了探索，通过研究角位移驱动定位及检测技术的发展现状，在总结前人经验的基础上，提出了一种集成了高精度角位移检测装置圆光栅的回转式压电微角度执行器系统，同时研究检测其角位移的角度检测系统和驱动其工作的控制系统。 圆光栅回转式压电微角度执行器的结构创新地在压电执行器上集成了角位移传感器，采用圆光栅与微驱动机构一体化的方案，同时结合运用了尺蠖运动原理和柔性铰链机构进行设计，压电执行器的运动原理、柔性铰链设计、圆光栅集成结构设计以及总体机械结构设计得到了详细论述；圆光栅检测信号的处理是根据圆光栅信号的正交特性，采用硬件方面大数计数和小数软件细分的方法进行辨向细分等处理，实现由单片机检测计算出角位移值，把检测结果引入控制环节，圆光栅传感器、检测电路及单片机系统组成了角位移检测系统；控制系统方面采用单片机产生四路驱动信号，并运用直流放大式原理设计压电陶瓷驱动电源，放大控制信号驱动压电执行器。压电陶瓷驱动器电源的作用原理、分类以及设计特点得到了介绍，压电陶瓷驱动电源的设计要求、方法、电路等方面的内容得到了充分论述。压电微角度执行器运用了“推拉接力原理”和柔性铰链机构设计进行微位移运动，同时又集成了圆光栅作为角位移传感器检测运动角位移。驱动控制系统以DSP芯片为核心，输出频率、幅值和步数可调的波形，对执行器的运动进行驱动和定位。还设计出一个利用分立元件实现高压放大功能的压电陶瓷驱动电源，将DSP输出小电压信号进行无失真的放大，从而精确的驱动用于执行器运动的压电陶瓷。该电源具有输出电压稳定、线性度好、输出范围和驱动能力满足使用要求、静态纹波低等优点。

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　　圆光栅回转式压电微角度执行器的运动的zui小步距达到纳米级，行程为全圆周，系统实现了高精度定位。在研究设计的基础上搭建出整个系统平台，制造出驱动电源样机并完成调试。对整个驱动控制和角位移检测系统进行测试得出整个系统具有较高的重复性测量精度。对角位移驱动定位技术进行了探索。在已有的回转式压电微角度执行器的基础上研究其驱动控制和角度检测技术，设计出一种多功能的驱动控制及检测系统，可以提供不同的波形、频率及幅值的驱动信号来控制压电执行器的运动，同时采用分立元件法研究出高精度、高稳定性的压电陶瓷驱动电源。