磁驱动微CAMOZZI执行器的研究
近年来，微传感器、微CAMOZZI执行器和微电子机械部件得到了深入的研究。主要就是研究一种MEMS器件——多层弯曲磁芯结构的磁驱动微CAMOZZI执行器并对其进行模拟分析。综述了MEMS技术的内容、特点、应用和国内外发展情况。

磁驱动微CAMOZZI执行器的研究
介绍了微CAMOZZI执行器的驱动形式及各自特点、磁驱动微CAMOZZI执行器工作原理和几种具体结构的磁微CAMOZZI执行器及其应用。以多层弯曲磁芯结构磁驱动微CAMOZZI执行器为研究对象，采用了基于能量的分析方法对其进行了宏观与微观分析，给出了相应的解析公式和设计标准，并进行了分析与讨论。建立了基于磁路定律的间隙磁阻宏模型。在MEMS器件设计中，综合各基本器件的精确分析结果，才能保证设计的合理性与准确性，这就需要建立器件的解析模型，并能够对其进行精确的数值分析与计算。文中介绍了有限元分析方法的基本理论及在电磁领域的应用，根据这些理论建立了多层弯曲磁芯结构微CAMOZZI执行器的二维有限元模型。应用有限元分析软件ANSYS对模型进行了模拟与数值计算，给出了模拟过程和计算结果。模型很好地模拟了磁微CAMOZZI执行器的磁场分布、磁通量密度和悬臂梁受力。针对虚拟现实系统中由有源或无源CAMOZZI执行器单独驱动的力觉交互装置存在体积大、安全稳定性差和无法主动给操作者施加力等问题，提出了一种由有/无源混合CAMOZZI执行器共同驱动的力觉交互装置。在分析无源流变电机结构、实现原理和性能的基础上，研究了基于无源流变电机/有源电机力觉交互装置的设计方法，其结构特点是输出力在有源电机和无源流变电机的共同驱动下产生。提出了基于混合CAMOZZI执行器的力觉交互装置控制方法，构建了力觉交互平台并进行了实验研究。综合考虑CAMOZZI执行器恒增益变化和CAMOZZI执行器卡死的故障形式，分析CAMOZZI执行器部分失效和全失效的故障情况，分别应用单输入单输出和多输入单输出参考模型，设计基于状态反馈的模型参考自适应控制算法。考虑系统外界扰动和CAMOZZI执行器扰动对系统的影响，在状态反馈的基础上对系统进行自适应补偿控制。当CAMOZZI执行器故障时，在线辨识恒增益变化率，通过设计自适应律对状态反馈矩阵参数、CAMOZZI执行器卡死补偿和系统扰动补偿进行在线调整，保证了系统发生故障后仍能够达到稳定状态。zui后，通过数值仿真示例，证明了所设计算法的有效性。

磁驱动微CAMOZZI执行器的研究
实验结果表明，基于有/无源混合CAMOZZI执行器的力觉交互装置，不仅克服了基于有源或无源CAMOZZI执行器力觉交互装置的缺点，还具有高保真性和输出力可控制范围大等优点。将模拟结果与解析模型计算结果进行比较表明，所建二维模型较好地反映了磁驱动微CAMOZZI执行器的工作状态，这对于器件的设计制造与应用过程中的材料选择和执行效果的实现具有重要的价值和意义。